本章主要講述國(guó)產(chǎn)光刻機(jī)的曾經(jīng)光輝歷程，以示以往的艱辛和國(guó)人智慧?？钟胁恍耪撸加靡粋€(gè)章節(jié)以述。不喜者可直接略過(guò)）

“國(guó)泰兄弟你居然也知道光刻機(jī)？這個(gè)行業(yè)非常冷門(mén)。別說(shuō)一般人，甚至就連很多官員領(lǐng)導(dǎo)都不知道。”

鄭通元被陳國(guó)泰的激烈反應(yīng)嚇了一跳，隨即滿臉驚奇地說(shuō)道。

“我當(dāng)然知道。鄭大哥，我的專業(yè)是機(jī)械制造，所以我一直都在關(guān)注機(jī)械制造的發(fā)展前沿狀況......從1959年漂亮國(guó)人研究出世界上第一臺(tái)五軸聯(lián)動(dòng)加工機(jī)器開(kāi)始到現(xiàn)在，機(jī)械制造往智能控制發(fā)展的苗頭趨勢(shì)已經(jīng)越來(lái)越明顯。你說(shuō)我能不關(guān)注與工控芯片直接相關(guān)的光刻機(jī)嗎？”

陳國(guó)泰腦瓜子一轉(zhuǎn)，立即解釋道。

“這個(gè)倒也是哈。我國(guó)從52年研究成功第一臺(tái)數(shù)控機(jī)床開(kāi)始，對(duì)工控芯片的需求就越來(lái)越旺盛，要求的芯片性能也在不斷提升......國(guó)防工業(yè)對(duì)芯片的需求也與日俱增供不應(yīng)求......”

鄭通元釋然地點(diǎn)了點(diǎn)頭，很自然地講述了起來(lái)。

陳國(guó)泰立即凝神聽(tīng)取，不愿錯(cuò)過(guò)任何一個(gè)字。

這些知識(shí)都是他知識(shí)儲(chǔ)備庫(kù)里沒(méi)有的。

“......1971年之前，因?yàn)槲鞣绞澜鐚?duì)我們的嚴(yán)密封鎖，我們所有的工控芯片都是靠著一大群技藝精湛的八級(jí)鉗工用手工進(jìn)行制作。這種制作方式雖然讓我們的芯片制程基本達(dá)到當(dāng)時(shí)10微米（一毫米等于一千微米。一微米等于一千納米）級(jí)別的世界主流水平，但是也有著非常巨大的缺陷......”

鄭通元滿臉感慨地提到了一個(gè)關(guān)鍵時(shí)間點(diǎn)：1971年。

聽(tīng)講的陳國(guó)泰更加打起了精神。

“......這個(gè)缺陷就是產(chǎn)量極低且良品率極其低下。耗費(fèi)了巨量人力物力制作出來(lái)的極少量合格芯片，只能用在最為急需的導(dǎo)彈、衛(wèi)星、火箭以及極少數(shù)最為重要的加工設(shè)備上面......70年前后，國(guó)家為了妥善解決這個(gè)問(wèn)題，終于下定決心集中人力和物力，研究我們自己的光刻機(jī)。說(shuō)起這事，就不得不提到徐瑞林（此為化名。但的確有這么一個(gè)英雄人物）徐總工。當(dāng)時(shí)上面緊急調(diào)回已經(jīng)下放下去‘學(xué)種水稻’的徐總工，讓他在清大里面緊急組建攻關(guān)團(tuán)隊(duì)......”

提起徐總工這個(gè)人，鄭通元臉上不由自主地露出了深深敬仰之色。

“徐瑞林？清大？鄭大哥，你要說(shuō)的，是不是咱們清大那個(gè)精密儀器系于1971年在徐瑞林徐總工的帶領(lǐng)下研制成功了我國(guó)第一臺(tái)光刻機(jī)？”

陳國(guó)泰神色一動(dòng)，忍不住插嘴說(shuō)道。

“沒(méi)錯(cuò)，的確是這樣。當(dāng)時(shí)徐總工是臨危受命......沒(méi)有任何圖紙和設(shè)備，就連概念都是模糊不清，一切都是從頭開(kāi)始，就連每一個(gè)螺絲都要從頭設(shè)計(jì)制造......又沒(méi)有任何加班費(fèi)和獎(jiǎng)金......但就算是這樣，徐總工帶領(lǐng)的團(tuán)隊(duì)硬是從無(wú)到有，只用了一年多時(shí)間，就把光刻機(jī)最主要的氣體激光器，以及工件臺(tái)的精密導(dǎo)軌、絲杠、滾珠、步進(jìn)電機(jī)、數(shù)控計(jì)算機(jī)，和其它光學(xué)系統(tǒng)、大孔徑投影物鏡等等組件全部研制出來(lái)并組裝成功......我個(gè)人覺(jué)得，他們團(tuán)隊(duì)的行為比起從頭開(kāi)始搞‘和平工程’的那批偉大科學(xué)家都不遜色！”

鄭通元講述到這里，禁不住取下眼鏡擦了擦眼角。

“沒(méi)錯(cuò)啊。他們都是國(guó)之脊梁！應(yīng)該永遠(yuǎn)被我們的國(guó)人和所有后代銘記！”

陳國(guó)泰對(duì)鄭通元提到的人也是肅然起敬，深深嘆服。

“......就這樣，徐總工團(tuán)隊(duì)經(jīng)過(guò)一年多時(shí)間的舍命付出，終于在1971年成功研制出我國(guó)第一臺(tái)光刻機(jī)和分布重復(fù)照相機(jī)，并迅速投入規(guī)模生產(chǎn)，供應(yīng)全國(guó)半導(dǎo)體行業(yè)使用，為民生工業(yè)和軍事工業(yè)持續(xù)提供‘心臟’動(dòng)力......就在去年，那位執(zhí)政之后非常重視科技，此項(xiàng)成果終于榮獲全國(guó)科技大會(huì)獎(jiǎng)。徐總工團(tuán)隊(duì)也終于獲得了應(yīng)有的榮譽(yù)......這臺(tái)光刻機(jī)也被稱為我國(guó)第一代光刻機(jī)。它讓我國(guó)的工控芯片跟上了10微米制程的世界主流水平......”

鄭通元徐徐吐出一口氣，總結(jié)說(shuō)道。

“鄭大哥，既然那臺(tái)光刻機(jī)被稱為第一代，其實(shí)也就意味著有第二代對(duì)吧？這方面你能稍微說(shuō)說(shuō)嗎？”

聽(tīng)得心馳神往的陳國(guó)泰深吸了一口氣，順勢(shì)說(shuō)道。

“這個(gè)......具體的研發(fā)過(guò)程肯定不能說(shuō)。不過(guò)表面上的大體情況還是可以透露一些......徐總工取得成功之后，并沒(méi)有就此止步不前。從75年開(kāi)始，他帶領(lǐng)團(tuán)隊(duì)采用直接在半導(dǎo)體晶片上光刻集成電路的方法，投入了對(duì)‘自動(dòng)對(duì)準(zhǔn)分步投影光刻機(jī)’的研究。這項(xiàng)研究被稱為第二代光刻機(jī)。預(yù)計(jì)成功之后會(huì)讓我國(guó)的芯片制程突破微米級(jí)，正式扣響納米級(jí)的大門(mén)。因?yàn)樗庸さ淖罴?xì)線寬能達(dá)到零點(diǎn)八微米，也就是800納米......”

鄭通元繼續(xù)敘述，卻在具體進(jìn)展上停了下來(lái)。

陳國(guó)泰很是理解地點(diǎn)了點(diǎn)頭，知趣地沒(méi)有追問(wèn)。

不過(guò)結(jié)合他前世所能記憶的模糊信息，他已經(jīng)把本國(guó)光刻機(jī)的前期發(fā)展過(guò)程基本理順。

鄭通元提到的這臺(tái)‘第二代光刻機(jī)’大約會(huì)在明年研究成功，并且在以后相當(dāng)長(zhǎng)時(shí)間里都一直保持在世界一線行列。

隨后一些年又完成了一些改進(jìn)，制程基本突破微米級(jí)，被稱為第三代，一直屬于世界一流水平。

但就在九十年代初期，芯片制程開(kāi)始極速爆發(fā)。個(gè)人電腦和互聯(lián)網(wǎng)將彌漫全球的前夜，因?yàn)闆](méi)有絲毫保密觀念，西方世界獲知了國(guó)內(nèi)的光刻機(jī)真實(shí)發(fā)展水平。

西方世界當(dāng)即放開(kāi)了對(duì)國(guó)內(nèi)光刻機(jī)相關(guān)的所有封鎖，以質(zhì)優(yōu)價(jià)廉的光刻機(jī)系列產(chǎn)品迅速奪走了徐總工團(tuán)隊(duì)的國(guó)內(nèi)市場(chǎng)。

國(guó)產(chǎn)光刻機(jī)從此一蹶不振。

直到多年以后國(guó)內(nèi)工業(yè)界遭遇漂亮國(guó)‘芯片法案’制裁時(shí)，才由一家叫做‘華威’的偉大公司領(lǐng)頭奮起還擊......

“鄭大哥，你對(duì)這一切都那么清楚，那這些書(shū)籍......”

陳國(guó)泰定了定神，指著基本專業(yè)書(shū)籍說(shuō)道。

“我所在的研究所參與了第二代光刻機(jī)光學(xué)系統(tǒng)和大口徑物鏡的研究分工。這些書(shū)籍都是徐總工團(tuán)隊(duì)編纂出來(lái)供研究人員學(xué)習(xí)的內(nèi)部教程。雖然不是保密書(shū)籍，但外邊也絕對(duì)看不到......只是讓我沒(méi)想到的是，小羽不但對(duì)數(shù)學(xué)極感興趣，居然對(duì)晦澀至極的光刻機(jī)知識(shí)也非常著迷......”鄭通元苦笑了一下說(shuō)道。

然而鄭通元是在苦笑，陳國(guó)泰卻是在無(wú)比舒心地笑。

“超級(jí)數(shù)學(xué)天才，還對(duì)光刻機(jī)的制造異常著迷。這幾乎注定了是未來(lái)的頂級(jí)芯片和光刻機(jī)大佬！”

陳國(guó)泰忍不住又看了猶自和念念開(kāi)心聊天的鄭白羽，猶如看到了一個(gè)無(wú)比偉大的科學(xué)新星正在冉冉升起。

“鄭大哥，你的具體研究我就不問(wèn)了。不知道你能否說(shuō)說(shuō)對(duì)第二代光刻機(jī)進(jìn)行分工研究的研究所都有哪些？我這純屬是好奇......”

陳國(guó)泰隨即滿臉堆笑地對(duì)鄭通元說(shuō)道。

“這個(gè)問(wèn)題......好像也不是不能講。我就告訴你吧.......”

鄭通元雖然感到有點(diǎn)奇怪，卻還是沒(méi)有拒絕陳國(guó)泰的要求。

陳國(guó)泰立即聽(tīng)得更加專心，務(wù)必要把鄭通元所提到的所有人名地名都全部記住。

晚上七點(diǎn)鐘，在鄭家吃過(guò)晚飯，帶著依依不舍的念念走出筒子樓時(shí)，陳國(guó)泰臉上的笑容顯得異常燦爛。

光刻機(jī)，他摸到門(mén)了！

......